全水溶液法制备高性能In2O3薄膜晶体管及其在逻辑器件中的应用的开题报告

全水溶液法制备高性能In2O3薄膜晶体管及其在逻辑器件中的应用的开题报告摘要In2O3材料具有半导体和透明导电性质，可以应用于光电器件、传感器和逻辑器件等领域。本文采用全水溶液法制备了高性能In2O3