氢氟酸乙二醇混合溶液在STI横向刻蚀工艺中的应用

中国科技论文在线http://www.paper.edu.cn氢氟酸乙二醇混合溶液在 STI 横向刻蚀工艺中的应用李阳柏1，程秀兰2**510（1. 上海交通大学微电子学院；2. 上海交通大学先进电子