国内外超净高纯氢氟酸产能调研

表 1 国内外超净高纯电子级氢氟酸产能调研表（ 2012-7 ）产能（万吨/产品等技年）级术序号生产厂家备注合已在拟来EL UPUPS计建建建源2011 年 6 月已进行年产 3 万吨电子级氢氟酸