基于光学干涉显微镜的超光滑表面轮廓测 量方法研究的任务书

基于光学干涉显微镜的超光滑表面轮廓测 量方法研究的任务书任务书一、课题背景光学干涉显微镜（Optical Interference Microscope，OIM）是一种通过利用波前干涉技术，精确测量材

基于光学干涉显微镜的超光滑表面轮廓测量方法研 究的任务书 任务书 一、课题背景 Optical Interference MicroscopeOIM 光学干涉显微镜（，）是一种 通过利用波前干涉技术，精确测量材料和表面形貌特征的高精度显微技 术。在科学研究和工程应用中广泛应用，如制造超精密光学元件、微纳 加工、表面质量检测等。其中，超光滑表面的轮廓测量对制造高精密光 学元件和微纳加工具有重要作用。因此，针对超光滑表面轮廓的精确测 OIM 量，是当前技术的研究热点之一。 二、课题内容 本课题旨在研究基于光学干涉显微镜的超光滑表面轮廓测量方法， 主要包括以下内容： 1. 基于光学干涉原理，建立超光滑表面轮廓测量的理论模型和数学 模型。 2. 设计和制作适合实验要求的超光滑表面样品，并对样品进行清洁 和处理，例如研磨和抛光等工艺。 3. 采用光学干涉显微镜对样品进行实验测量，并对测量数据进行图 像处理和分析，以得到样品表面的形貌特征和参数。 4. 结合理论模型和测量结果，对超光滑表面轮廓测量的误差源进行 分析和探讨，并提出改善和优化方案。 5. 结合国内外研究进展，对基于光学干涉显微镜的超光滑表面轮廓 测量方法的优缺点和发展前景进行分析和总结。 三、课题要求