基于定长补偿的空心电极微细电火花平面加工方法

基于定长补偿的空心电极微细电火花平面加工方法基于定长补偿的空心电极微细电火花平面加工方法摘要：空心电极微细电火花平面加工技术是一种高精度、高效率的微细加工方法，已广泛应用于微机电系统（MEMS）、光学