低位错锗单晶片的表面位错腐蚀研究

低位错锗单晶片的表面位错腐蚀研究摘要本文研究了低位错锗单晶片的表面位错腐蚀现象。通过实验观察到，低位错锗单晶片表面在酸性溶液中发生了位错腐蚀现象。使用扫描电子显微镜观察位错腐蚀过程，发现位错在腐蚀过程