酸性蚀刻线宽补偿与蚀刻因子、同厚及线间距关系与研究

图形形成与蚀刻Pattern 印制电路信息2013 Paper Code：S——022 摘要 文章从蚀刻因子，铜厚以及线间距入手，研究了线宽补偿和这三个因素的关系，并使 用公式表述，从而可指导酸性蚀刻