5-激光测定硅单晶的晶向

试验一 激光测定硅单晶的晶向一、引言同一单晶不同晶面上的原子密度不同，因此在各个不同方向上所表现出的物理性质也不一样。例如，单晶硅（111）面上原子密度最大，在扩散中杂质沿[111] 方向扩散最慢，因