集成电路工艺项目实训报告任务书

目录TOC \o "1-3" \h \u 第一章 Silvaco TCAD软件的基本知识与使用 PAGEREF _Toc30983 21.1 Silvaco TCAD软件的基本知识 PAGERE

目录 Silvaco TCAD .......................................................................................... 2 第一章软件的基本知识与使用 1.1 Silvaco TCAD ..................................................................................................... 2 软件的基本知识 1.2 Silvaco TCAD ............................................................................................................. 2 软件的使用 1.3 Silvaco TCAD ..................................................................................................... 3 软件的主要组件 __OS、 ........................................................................................ 4 第二章基本结构工艺流程及工作原理 2.1 __OS ............................................................................................................................. 4 的基本结构 2.2 __OS ............................................................................................................................. 4 的工艺流程 2.3 __OS ............................................................................................................................. 5 的工作原理 __OS、 .......................................................................................................... 7 第三章工艺器件仿真流程 3.1 ................................................................................................................................... 7 工艺仿真流程 3.2 ................................................................................................... 7 参数不同时工艺和器件结果分析 .......................................................................................................................................... 11 第四章实训总结 ____ ............................................................................................................................................................ 12 ： ................................................................................................................................................ 13 附录：原程序