用气相色谱法测定半导体工艺中固、液、气相砷、磷及化合物的新方法

用气相色谱法测定半导体工艺中固、液、气相砷、磷及化合物的新方法摘要：随着半导体工艺的不断发展，对于砷、磷等元素和它们的化合物的检测要求越来越高。该文介绍了一种通过气相色谱法快速测定半导体工艺中固、液、