微机械陀螺仪封装研究

图书分类号 TP212.1UDC密级621.38硕 士 学 位 论 文微机械陀螺仪的封装研究李亚山闫桂珍教授 指导教师（姓名、职称） 刘俊教授 申请学位级别 工学硕士 专业名称_ 微电子学与固体电子学