基于均匀离子密度的容性耦合射频放电等离子体的实验诊断研究

基于均匀离子密度的容性耦合射频放电等离子体的实验诊断研究基于均匀离子密度的容性耦合射频放电等离子体的实验诊断研究摘要：等离子体在物理、化学等领域中具有重要应用。容性耦合射频放电等离子体是一种常用的等离