OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明书

OPTORUN离子源的维护保养说明1．离子源的维护和Grid的分解和组装方法　长时间运转後，石英杯会被镀上一层的导电性膜，因此会引起输出功率下降，此时请进行打砂处理或使用洗净液（请使用不影响SiO2的