精选pecvd班组的维护流程

班组的维护流程维护准备 提前准备维护工具 石英管的准备8—15根 （单晶需15根，2根备用 多晶需9根，1根备用） 石英管的挑选注意：口径的大小 两端口径不要有裂痕 整根不能有裂痕 碰痕。无细微裂