面向三维多栅器件的高K介质与金属栅工艺研究

面向三维多栅器件的高K介质与金属栅工艺研究随着集成电路制造技术的不断改进，三维多栅器件已成为新一代芯片中的重要组成部分。高K介质与金属栅技术是实现三维多栅器件的关键技术之一。本文主要探讨高K介质与金属