基于表面应力的MEMS生物传感器研究的任务书

基于表面应力的MEMS生物传感器研究的任务书一、研究背景传感器是现代科技中极为重要的部分，它们用于监测、测量、传输信息等。在生物医学领域，传感器被广泛应用于疾病的早期预警、诊断、治疗以及监控等方面。M