采用同步加速器放射光的铝无抗蚀剂CVD新技术

采用同步加速器放射光的铝无抗蚀剂CVD新技术同步加速器放射光的铝无抗蚀剂CVD新技术摘要：铝材的抗蚀性是其在工业生产和日常生活中的重要特性之一。然而，传统的抗蚀剂在使用过程中存在着一些问题，如环境污染