采用波前分割法的接近式光刻掩模版局部优化

采用波前分割法的接近式光刻掩模版局部优化论文：波前分割法在接近式光刻掩模版局部优化中的应用摘要：本文介绍了波前分割法在接近式光刻掩模版局部优化中的应用。首先，对接近式光刻的原理和优缺点进行了简要介绍。