冷阴极电离真空计校准方法研究

冷阴极电离真空计校准方法研究冷阴极电离真空计是一种常用的真空测量仪器，其工作原理基于冷阴极电离，通过测量电离电流来估算真空度。然而，随着时间的推移，冷阴极电离真空计的性能会下降，因此需要进行定期的校准