基于光栅传感器位移测量的设计

光栅传感器位移测量的硬件设计摘要：光栅作为精密测量的一种工具，由于他本身具有的优点，已在精密仪器、坐标测量、 精确定位、高精度精密加工等领域得到了广泛的应用。光栅测量技术是以光栅相对移动所形 成的莫尔