MEMS热辐射红外光源的研究的中期报告

MEMS热辐射红外光源的研究的中期报告中期报告1.背景红外辐射技术在现代工业、医疗、军事等领域中得到了广泛应用。现有的红外光源主要有热电偶、红外半导体激光二极管、石墨烯、金属加热器等。这些光源在不同领