EBL电子束蒸发操作流程及管理规范

电子束蒸发操作流程 1.制样：将样品用耐高温胶带贴到样品盘上，一定确保样品粘牢，防止样品中途掉下砸坏灯丝。 2.泄真空：点击面板PC vent按钮自动泄真空，待腔体压强达到室压7.6*E2 torr之