硅片材料制备和特性要求（精品）

第二章硅片材料制造技术3.1硅材料制备硅（Si）是地壳矿物中储量第二位的矿物元索，约为28%,总是与其他元索（特别是氧）以化合 物的形式存在。由于庞大的硅矿物储量，和现有的科学技术以及过去几I•年建立