材料表面分析技术

材料成分分析技术一俄歇电子谱技术（AES）俄歇电子能谱是用聚焦电子束激发样品，由于俄歇过程，在样品的表明发射 出的俄歇电子作为信号，进行能量分析，简称为AES。AES主要用作表面元素的 成分分析，是如

AES） 材料成分分析技术一俄歇电子谱技术 （ 俄歇电子能谱是用聚焦电子束激发样品，由于俄歇过程，在样品的表明发射出 的俄歇电子作为信号，进行能量分析，简称为AES。AES主要用作表面元素的成分分 析，是如今表面科学研究的重要工具之一。本文主要从俄歇电子谱仪的物理原理、 表征系统构成、适用范围三个方面来简要介绍一下AES,并会针对一个典型结果进行 初步的分析。 1 、物理原理: 俄歇电子的发射过程，可用能级图来描述，如图1： 10 出描木成长江的韭分田 当用一束电子轰击靶材时，可使K能级的一个电子离化，产生空穴，再由高能 级例如M能级的电子落入此空穴，使系统恢复平衡，此时有能量放出，若剩余的能 量不以光发射而是以N能级的电子放出而损耗，把这个过程称为KMN俄歇过程（俄 歇跃迁）。发出AES电子的过程是一个非辐射复合过程，接受剩余能量飞出的电子 称为KMN俄歇电子。 作为一般化讨论，任一个俄歇跃迁包含WXY三个能级，强能级产生空穴，X能 级的电子填充空穴，Y能级发射出俄歇电子。 考虑电子结合能是相对于费米能级而言，所以俄歇电子的逸出动能为： =E；(Z)-(Z)-(Z+A)-,其中人是试样的功函 v 数。通过能谱仪能量分析器后测量到的俄歇电子的能