铜铟镓硒薄膜的真空制备工艺及靶材研究现状

铜铟镓硒薄膜的真空制备工艺及靶材研究现状铜铟镓硒（CIGS）薄膜是一种具有良好光电性能的半导体材料，可用于太阳能电池、电子器件等领域。本文将从真空制备工艺和靶材研究现状两方面综述CIGS薄膜相关研究。