半导体材料复习

题型：一.简答5*10分 二.综述3题50分Si（砂子SiO2）→粗硅（97%）→高纯多晶硅（99.999999%）→单晶硅棒→切片→外延片第一章粗硅的制备：SiO2+还原剂→Si（97%）SiO2+