超精密机床液体静压导轨静动态特性分析及模态参数识别-机械制造及其自动化专业毕业论文

摘 要近年来，精密光学零件的应用越来越多，在民用、国防以及空间科学等领域 都有着广泛的需求；而光学零件加工最重要的设备是超精密机床。超精密机床具 有良好的加工性能是光学零件质量的重要保证。但是决定超精