真空镀膜及材料生长实验报告资料
真空镀膜及材料生长实验报告摘要:通过实验了解真空基础知识,理解真空环境下薄膜生长的机理,掌握直流溅射制备金属薄膜的方法,研究制备工艺对薄膜性能的影响。关键词:真空,直流溅射,镀膜,金属薄膜吸光度,金属
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