磁控溅射法制备氮化钛薄膜及其结构与电性能研究的任务书

磁控溅射法制备氮化钛薄膜及其结构与电性能研究的任务书任务书一、研究背景氮化钛薄膜因其优异的物理化学性能，具有广泛的应用前景，如太阳能电池、透明电极、光学膜等方面。磁控溅射技术是氮化钛薄膜制备中最常用的