环形抛光技术的分析研究

摘 要摘冠石3 七现 今许 多大 型系统 需要 大 量 的大 口径 高精度 平面 光 学元件 ，在 此类 元件 的加工 中 ，环 抛(C ontinuous p olishing)是一种 非 常重要