基于SOI技术的MEMS超声分离器制备方法研究

基于SOI技术的MEMS超声分离器制备方法研究随着微纳技术的快速发展，MEMS (微电子机械系统) 技术已经成为一个重要的领域，应用于各种不同的领域。MEMS超声分离器是其中的一种典型应用，能够在微观