《基本光刻工艺》PPT课件

- 第八章 基本光刻工艺流程 - 光刻的目的和意义第四章已做过简单的描述，这一章主要介绍基本光刻工艺中的表面准备至曝光的工艺步骤及光刻胶的特性。8.1 简介