浅谈12吋晶圆集成电路芯片制程1

浅谈12吋晶圆集成电路芯片制程（工艺与工序）引言:。随着个人电脑和通信设备的普及，特别是手机等移动通信需求的快速増长，本世纪硅（矽）半导体集成电路投 入大规模批量生产，产能的提高和良品率（合格率）的提