微机械惯性传感器检测平台的设计与应用_传感与控制论文

微机械惯性传感器检测平台的设计与应用_传感与控制论文传感与控制论文 摘要：一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台，介绍电容式惯性传感器微电容信号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的工