一种新型三维微位移工作台的设计和分析

一种新型三维微位移工作台的设计和分析摘要本文介绍了一种新型三维微位移工作台的设计和分析。该工作台利用微机电系统制造技术和磁悬浮技术实现了高精度和高稳定性的微位移控制，可以广泛应用于精密加工、生物医学和