金属氧化物薄膜的电学特性及其在薄膜晶体管中的应用

金属氧化物薄膜的电学特性及其在薄膜晶体管中的应用金属氧化物薄膜的电学特性及其在薄膜晶体管中的应用摘要：金属氧化物薄膜具有优异的电学特性，逐渐成为薄膜晶体管研究的热点。本文综合研究了金属氧化物薄膜的电学