静电斥力RFMEMS开关的设计与优化中期报告

静电斥力RFMEMS开关的设计与优化中期报告一、研究背景：基于微电子加工技术的微机电系统（MEMS）已经得到了广泛的应用，其中包括射频微机电系统（RFMEMS）。RFMEMS利用微机电系统技术可以制造