第5章光学系统象质检验与评价

第五章光学系统象质检验与评价§ 5-1星点检验一、 星点检验原理为克服物体上各点成像后弥散斑的作用，用以各点经过光学系统成像，观察其弥散斑，如果有误差及像差, 弥散斑变形，利用人眼对此变形及亮度的变化

第五章光学系统象质检验与评价 §5-1 星点检验 一、星点检验原理 , 为克服物体上各点成像后弥散斑的作用，用以各点经过光学系统成像，观察其弥散斑，如果有误差及像差弥散 斑变形，利用人眼对此变形及亮度的变化，检验出象差这种方法称为星点检验。 黑暗背景上有一个亮点（对被检系统而言，点的几何像小于弥散斑半径即可认为是一个点）人很容易区分光能 的变化，如果衍射形状改变，则更灵敏，可达十分之一波长。 星点检验装置 1.222, 0.61 1.22 °o= d=2r= ----- 二＞ nsinu nsinu' r 1 、平行光管部分；聚光镜、星点、物镜 D 平行光管口径大于待检物镜入瞳直径径且物镜像质较好 光源选用发射连续光谱且亮度大的灯 6^^R 星点大小：星点允许的最大角直径应等于被检系统艾利斑第一暗环的角半径的二分之一如图 =0/20=0.61M=1.22=0.6U/D=0.61"0 %、如。'/ 例：如果 r f=1200mm,D=100mm,D= 则 0o -5 1200/70=0.006mm d=0.61”ZD=0.61x0.56x70x 吨。 20 若不用平行光管则可直接将星点放置于距物镜前节点的距离倍焦距处则 ,0.61 初 J a dmax=max^= f l=20f=10000mm 由得 f'=500mm D=70mm 例：待检物镜口径焦距 」 O.61xO.56x1OTioooo =0.05mm 么= -------------- ----------------- -- 70 星点大衬度不好、星点小衬度好但太小图形暗不易观察 2 、被检系统支持部分 能自动定心或带偏心调整装置，以保证被测物镜和平行光管光轴显微镜光轴重合 3 、显微镜部分 , 根据弗朗和费衍射理论知道，一个光学系统对一个无限远的点光源成像其实质是在其光瞳面上衍射的结果在焦平 面上衍射相的振幅分布就是光瞳面上的振幅分布函数（通常称为瞳函数）的傅里叶变换，光强分布