场发射扫描电镜技术标书(共5页)

附件：场发射扫描电镜技术标书一、设备用途扫描电镜是一种多功能的仪器，广泛地用于材料的微观组织观察、微区成分分析、材料的断口分析、材料的晶粒度分析、夹杂物分析及织构表征等，可对导电及不导电的固体材料进行

精选优质文档-----倾情为你奉上 附件：场发射扫描电镜技术标书 一、设备用途 扫描电镜是一种多功能的仪器，广泛地用于材料的微观组织观察、微区成分分析、材料 的断口分析、材料的晶粒度分析、夹杂物分析及织构表征等，可对导电及不导电的固体材料 进行表面形貌的观察及成分分析。场发射电镜能够实现更高分辨率的形貌观察，可实现对超 细晶材料尤其是纳米材料的表征。基于相关附件，也可以对材料在温度及应力作用下的动态 变化进行原位观察。 仪器包括电子光学系统、真空系统、样品室和样品台、探测器及成像系统、图像处理系 XEDSEBSD 统、应用软件及数据处理软件、射线能谱分析仪（）、背散射电子衍射分析仪（）、 原位加热台。 二、技术参数 ． 1 运行环境 1.115~25 工作温度：可以在环境温度工作 1.260%RH 相对湿度：湿度小于时正常工作 1.3220V(±10%)50Hz 工作电压：在、电压下，仪器可连续使用 2 ．电子光学系统 2.1Schottky 电子枪：场发射电子枪 2.20.2kV~30KV10V 加速电压：，步长连续可调 2.30.2%/h 电子束流：束流连续可调，稳定性优于 2.415~100 放大倍数：倍万倍 2.55~50mm 工作距离：，粗调、精调两种模式 2.6 物镜：无漏磁物镜，能有效观测磁性样品 2.7 物镜光阑：具备自清洁功能 3 ．真空系统 3.1 机械泵、分子泵、离子泵三级抽真空系统 *3.2 真空模式：能够满足基本的成像、分析的高真空模式，同时满足原位加热台等附件工作 的需要模式 -7-4 3.310Pa10Pa 真空度：电子枪真空度优于、样品室高真空优于 3.45min 抽真空时间：不高于 4 ．检测器及成像系统 4.1 成像模式：背散射成像、二次电子成像、任意比例混合模式成像 4.231 检测器：电子探测器不少于个，镜筒内二次电子探测器个，高灵敏度低电压固体背 1 散射探测器个 4.3CCD 相机：样品室红外高清相机 4.4 检测器分辨率 *4.4.130kV1.0nm20kV1.3nm1kV3.0nm 二次电子分辨率：时小于或时小于，时优于 *4.4.230kV2.5nm1kV3.0nm 背散射电子分辨率：时小于，时优于 5 ．样品室和样品台 专心---专注---专业