基于表面等离子体的微纳光刻技术

基于表面等离子体的微纳光刻技术导言：迄今为止，裸眼可见的可用图案仍然受到光刻技术的限制。随着微纳电子器件和微纳系统的广泛应用，不断推进表面等离子体光刻技术的研究。这是一种将高能电子束或激光光束聚焦在薄