单Halo全耗尽应变Si绝缘硅金属氧化物半导体场效应管的阈值电压解析模型

单Halo全耗尽应变Si绝缘硅金属氧化物半导体场效应管的阈值电压解析模型标题：单Halo全耗尽应变Si绝缘硅金属氧化物半导体场效应管的阈值电压解析模型摘要：随着尺寸的逐渐缩小和功耗要求的增加，研究半导