化学气相沉积在机械工业中的应用

化学气相沉积在机械工业中的应用化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition，简称CVD）是一种常用的薄膜制备技术，在机械工业中有广泛的应用。CVD技术利用气态反应物在高温条件下与基