曝光文件的编辑[1]

Exposure File of NSR 1505g4d前言每一层图形的曝光，甚至每一块掩模版的加载，尼康系统都需要一个指定的文件：这些文件包括尼康厂家自制的测试用曝光文件，和各个产品各层曝光所使用的