MEMS应力测试研究的中期报告

MEMS应力测试研究的中期报告MEMS（微电子机械系统）是一种小型化、微型化的机电一体化技术，在微传感器、微执行器、微加速度计、微压力传感器和微流控制等领域有着广泛的应用。MEMS应力测试研究是衡量M