一种垂直运动精密微定位平台的设计与分析

一种垂直运动精密微定位平台的设计与分析要在微观尺度下进行定位和移动操作时，需要使用垂直运动精密微定位平台。在现代高精度加工和精密装配工作中，这种平台已成为不可或缺的工具。在此论文中，我们将介绍一种基于