扩散泵的结构示意图和工作原理

扩散泵的结构示意图和工作原理当扩散泵油被电炉加热时， 产生油蒸气沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。 因喷嘴外面有机械泵提供的真空 （1~10-1Pa），故油蒸气流可喷出一长段距离， 构成一个向出气口方向运