四探针测试仪测量薄膜的电阻率(发)

四探针测试仪测量薄膜的电阻率〈一〉 实验目的1、理解四探针方法测量半导体电阻率的原理；2、学会用四探针方法测量半导体电阻率。〈二〉实验原理本实验采用SDY-5型双电测四探针测试仪。该仪器采用了四探针双