精编光谱仪微小型化改革论文

光谱仪微小型化改革论文关键字：技术使用光纤仪器波长微型滤光片光谱仪 微光学、微电子、微机械的结合产生出一类新的应用范围很广的器件——微型光机电系统(MOEMS)，它也是机、电、光、磁、化学、传感