基于纳米压痕和纳米冲击技术研究溅射功率对Ti薄膜力学性能的影响

基于纳米压痕和纳米冲击技术研究溅射功率对Ti薄膜力学性能的影响从材料科学角度研究薄膜力学性能是非常重要的。随着现代科技的进步，纳米级的薄膜应用变得越来越普遍，而影响薄膜力学性能的因素也变得越来越复杂。