分辨率增强技术在ArF光刻中的应用的任务书

分辨率增强技术在ArF光刻中的应用的任务书任务概述：本次任务主要是针对当前ArF光刻技术所面临的分辨率瓶颈，设计一种分辨率增强技术并探究其在ArF光刻中的应用。任务需要对现有的相关文献进行阅读和整理，